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濕式蝕刻的優點

信息來源于:互聯網 發布于:2019-08-06

低成本、高可靠性、高產能及優越的蝕刻選擇比。但相對于干式蝕刻,除了無法定義較細的線寬外,濕式蝕刻仍有以下的缺點:(1)需花費較高成本的反應溶液及去離子水;(2)化學藥品處理時人員所遭遇的安全問題;(3)光阻附著性問題;(4)氣泡形成及化學蝕刻液無法完全與晶圓表面接觸所造成的不完全及不均勻的蝕刻;(5)廢氣及潛在的爆炸性。

濕式蝕刻過程可分為三個步驟:(1)化學蝕刻液擴散至待蝕刻材料之表面;(2)蝕刻液與待蝕刻材料發生化學反應;(3)反應后之產物從蝕刻材料之表面擴散至溶液中,并隨溶液排出(4)。三個步驟中進行最慢者為速率控制步驟,也就是說該步驟的反應速率即為整個反應之速率。

大部份的蝕刻過程包含了一個或多個化學反應步驟,各種形態的反應都有可能發生,但常遇到的反應是將待蝕刻層表面先予以氧化,再將此氧化層溶解,并隨溶液排出,如此反復進行以達到蝕刻的效果。如蝕刻硅、鋁時即是利用此種化學反應方式。

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